蓝宝石晶体基片 晶体材料:高纯单晶Al2O3
晶向:C轴(0001)±0.2°
直径:50.65~50.95mm
厚度:405.0~455.0μm
总厚度偏差:0.0~25.0μm
翘曲度:0.0~20.0μm
定位面方向:A-面(11-20)±0.3°
定位边长:14.5~17.5mm
正面状态:0.0~1.0nm
反面状态:5.0~10.0μm
包装:洁净室内真空冲氦包装